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厦门绿恒创机电工程有限公司是闽南地区主流的无尘室整体工程承建商之一，作为无尘室系统工程建设的***代表。

公司主营微电子、光电显示、太阳能、半导体、精密机械、光学仪器、GMP制药、生物工程、食品、化妆品、精细化工、实验室、医院手术室等。1、光刻设备尺度问题。在微电子技术工艺中为关键的设备为光刻机（曝光工具），此设备的制造过程复杂、成本高且其精密度要求较高，而设备分辨率以及焦深都会影响光刻技术的应用，当尺寸推进至0.05um且停滞较长时间后则会引起集成电路无法快速的进入纳米时代。

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臭氧发生器消毒法 通过用波长低于200nm的紫外线照射普通空气产生臭氧。当足够的紫外线能量加给氧分子，氧分子就自由分裂成自由的单原子氧这些原子与其他氧分子碰撞产生臭氧分子。也是常用的方法，这个方法更加有效但是造价比